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ポリエチレンテレフタレート(PET)の成膜不具合と対策

ポリエチレンテレフタレート(PET)の成膜不具合は、製造プロセス中やその後の処理において、様々な原因で発生します。以下に、代表的な不具合の種類とそのメカニズムを一覧表でまとめました。 不具合の種類メカ …